简要描述:Yamato雅马拓洁净厌氧高温气氛炉洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等。
Yamato雅马拓洁净厌氧高温气氛炉
特点
最高工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于 20ppm,主要应用于固化半导体晶圆(光刻胶PI、PBO固 化)、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。 采用耐热高性能高效过滤器,箱内洁净度始终保持在100级,可 在洁净的环境下进行高温烘烤。 高气密性的压力箱构造,氧浓度到达时间短,N2消耗量极低。 通过磁密封保持高气密性,并采用水冷机构保护密封部件免受 热量影响。 可实现快速升温和降温,升降温速率可调节。 标准装备有废液回收装置,对气体进行冷却回收。
拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检 测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏 电漏电保护开关等安装装置。
Yamato雅马拓洁净厌氧高温气氛炉
支持各个领域的研究开发以及生产技术的革新、
为科学技术的进步和发展做出贡献。
作为雅马拓科学集团的重要一员,不断向客户提供最新、最有价值的产品和确保安全、令客户安心的服务,与集团公司通力合作,积极
拓展集团事业。
为达到目标,本公司以实验室仪器、实验室设备、产业机器为产品核心,进行设计开发、生产、销售和服务,通过建立高效的团队、先
进的装备、完善的体制,来向客户提供优质的产品和服务。
秉承企业的经营理念,所有企业活动都积极配合环境保护活动,以实现公司盈利的同时也能达到环境保护为目标。
1. 遵守环境保护的相关法律
遵守国家环境保护的相关法律和企业对于环境保护制定的相关规定。
2. 以减少环境污染为宗旨,改善作业流程
有效利用资源和能量、减少废弃物,消除作业过程中的浪费、不合理等现象。
3. 推进以减少环境负荷为宗旨的企业活动
积极推进从设计、采购、生产到销售、物流、使用、再生、废弃整个作业流程以降低环境负荷为主的活动。
4. 开发环保型商品和体系
致力于环境保护技术的提高,并且贯穿于整个产品的开发过程,开发环保产品和系统。
5. 环境管理系统的充实与开展
制定环境方针的目的、目标,通过定期的评估达到连续改进和预防污染的效果。
6. 环境方针政策的通知与公开
及时让公司全体员工了解有关环境保护的方针政策,向全体员工推行“充分理解后再行动"的环境知识普及活动,并且
将公司制定的有关环境保护的方针政策向外界公布。